微纳加工 | MEMS研究方向分类

MEMS研究己经形成覆盖多个研究领域的较为完整的体系，主要包含基础理论、微纳工艺、微纳器件、微纳测试、微纳系统和微封装等。

当前MEMS研究可分为4大方向：

便携电子设备的飞速发展对便携式电源的能量密度提出更高要求，而采用微细加工技术制造微能源装置，‘可以大幅度减小供能装置尺寸，为发展高能量密度便携电源提供了有力工具，是目前能源领域与微纳领域的交叉研究热点，近年有望在实用化方面取得重大突破。

微纳生化传感与分析研究包括药物筛选芯片、蛋白质芯片、单细胞分析芯片等微全分析系统，纳米声波生物传感器、纳米光学生物传感器、纳米磁性生物传感器、纳米电化学传感器等器件与相关技术。

对微执行器的研究是微纳系统的重要方向。它涵盖了微射频器件、微机器人、微飞行器、微流体驱动器件和微光学器件等。

物理测量传感器在武器装备、石油化工、汽车等领域有广泛需求，而许多应用场合要求传感器体积小，灵敏度高，能工作在恶劣的高温、高湿、高冲击环境中，与传统传感器结构相比，采用微纳技术制造的物理测量微传感器更容易满足上述需求。