Микро- и нанообработка | Введение в процессы сухого травления
Методы травления делятся на: мокрое травление и сухое травление
Мокрое травление подразделяется на: химическое травление и электролитическое травление
Сухое травление подразделяется на: плазменное травление, травление напылением ионного пучка, реактивное ионное травление
Сухое травление - это метод травления тонких пленок с использованием более химически активной природы плазмы.
В зависимости от механизма травления с использованием ионов существует три типа сухого травления:Физическое травление, химическое травление, физико-химическое травление.Физическое травление, также известное как травление напылением, имеет высокую направленность и может быть анизотропным, но не может быть селективным. Химическое травление использует химически активные атомные группы в плазме для химической реакции с протравливаемым материалом, тем самым достигая цели травления. Поскольку в основе травления все еще лежит химическая реакция, эффект травления в некоторой степени похож на эффект мокрого травления, с лучшей селективностью, но меньшей анизотропией.
Сравнение механизмов плазменного сухого травления и параметров травления
| Параметры травления | Физическое травление - вертикальный срез радиочастотного поля | Химическое травление - параллельный лист с радиочастотным полем | Физическое и химическое травление - вертикальный лист радиочастотного поля |
|---|---|---|---|
| Механизм травления | Физическое ионное распыление | Химия реактивных элементов | Ионное распыление и химия реактивных элементов |
| Профиль боковой стенки | Анизотропный | Изотропный | Анизотропный |
| Выбирайте из более чем | Низкий/трудный подъем (1:1) | Очень высокий (500:1) | Высокая (от 5:1 до 100:1) |
| Скорость травления | Высокий | медленно | Умеренный |
| Контроль ширины линии | Хорошо | Очень плохо | Очень хорошо |
В соответствии с методом генерации плазмы классифицируются индуктивно-связанная плазма ICP, емкостно-связанная плазма CCP и электронно-циклотронная резонансная плазма ECR СВЧ. циклотронный резонанс).
Расширенное чтение:
- Микро- и нанообработка | Обзор
- Микро- и нанообработка | Фотолитография - Наноимпринтная литография
- Микро- и нанообработка | литография - фокус на ионно-лучевых ФИБах
- Микро- и нанообработка | Литография - Электронно-лучевая литография
- Микро- и нанообработка | Фотолитография - Оптическая литография
- Микро- и нанообработка | травление
- Микро- и нанообработка | подготовка тонких пленок - эпитаксия
- Микро- и нанообработка | Подготовка тонких пленок - PVD
- Микро- и нанообработка | Подготовка тонких пленок - CVD
Мы предлагаем быстрыйУслуги по проектированию устройств МЭМС / обработке микро- и наноструктур, Не стесняйтесь оставить сообщение с вашим запросом.
