Высокоточная двухфотонная лазерная 3D-система прямой записи*
Двухфотонная полимеризационная система 3D-печати MPP-4E
Двухфотонная полимеризация (2PP) 3D-печать
Эта система использует облучение видимым светом для обработки структур размером менее 50 нм, преодолевает дифракционный предел и обеспечивает возбуждение и подавление одной длины волны, чтобы избежать эффекта хроматической аберрации, закладывая исследовательскую основу для травления с суперразрешением на больших площадях.
- Более простое интерактивное программное обеспечение: самостоятельно разработанное программное обеспечение для обработки и управления графикой, поддерживающее bmp, jpg, STL, GDSII, CSV и другие графические форматы.
- Возможность высокоточного травления: возможна обработка структур размером 50 нм
- Возможность многоканальной высокоточной параллельной модуляции
- Возможность прямой записи 3D-структур
[Описание системы]
Самое большое отличие MPP-4E от обычных систем двухфотонной лазерной литографии заключается в использовании двух обрабатывающих лучей. Один из них - фемтосекундный лазер с длиной волны 532 нм, называемый возбуждающим светом, другой - непрерывный лазер с длиной волны 532 нм, называемый подавляющим светом. В процессе обработки используется специальный фоторезист PPI, этот фоторезист под воздействием возбуждающего и подавляющего света обладает различным светочувствительным эффектом: возбуждающий свет может заставить фоторезист облучать позицию двухфотонной полимеризации для формирования структуры, подавляющий свет может разрушить молекулы фоторезиста, сшитые для достижения эффекта де-полимеризации. Когда ингибирующий свет и пучок возбуждающего света фокусируются для формирования 3D темного пятна, чтобы уменьшить эквивалентный размер пятна возбуждающего света, тем самым превышая оптический дифракционный предел и достигая высокоточной двухлучевой обработки прямой записи.
Лазерная прямая запись на основе подавления бахромы света (PPI) представляет собой сверхточную 3D-литографию прямой записи. Эта система использует видимый свет для обработки структур размером менее 50 нм, преодолевает дифракционный предел, обеспечивает возбуждение и подавление одной длины волны, чтобы избежать влияния хроматической аберрации, что закладывает исследовательскую основу для создания надписей с суперразрешением на больших площадях.
[Системные параметры]
| Модель | MPP-4E |
| Минимальная ширина линии элемента | ≤50 нм (плоскость XY) и ≤300 нм (ось Z) |
| Минимальный период (плоскость XY) | ≤400 нм |
| Скорость сканирования (максимальная) | 10 м/с, деленные на увеличение объектива (пример: скорость сканирования 100 мм/с при объективе 100X) |
| Минимальная шероховатость | ≤30 нм |
| Высота печати | ≤10 мм |
| Точность сращивания | ≤100 нм (плоскость XY) |
| Поддержка выгравированных областей (кругов) | Диаметр 4" (настраиваемый) |
[Направление применения]
- Оптические устройства: линзы Френеля, флэш-решетки, массивы микролинз и т.д.
- материаловедение
- механические метаматериалы
- устройство сопряжения фотонных чипов (PCCD)
- Массивы микромеханических пропеллеров
- Фотонная свинцовая структура
- Биомедицина: Массивы биологических клеточных лесов
- торцевая поверхность волокна
- Топология комплексного пространства
- Высокотехнологичная защита от подделок
- Нанотрафареты, маски
[Тип и производительность фоторезиста собственного производства]
| Фоторезисты | CD (нм) | Показатель преломления | Длина волны (нм)/режим | Приложение | Чувствительность мДж/см2 |
| Ref.IP-dip | ＞150 | 1.52 | 780 / DIP-IN | TPP 3D | 10 |
| TPP-1.52N | 150 | 1.52 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | TPP 3D | 8 |
| TPP-1.52S | 100 | 1.52 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | TPP 3D | 6 |
| ТЭС-1.56C | 100 | 1.56 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | TPP 3D Optical | 25 |
| ТЭС-1.56В | 180 | 1.56 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | TPP 3D Optical | 20 |
| PPI-1.48N | 50 | 1.48 | 517-800 / OIL | PPI 3D | 35 |
| PPI-1.52N | 50 | 1.52 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | PPI 3D | 7 |
| PPI-1.52S | 30 | 1.52 | 517-800 / ПОГРУЖНОЙ | PPI 3D | 5 |
| Реф. SU-8 2000 | 500 | Твердый | <350 нм | 2D | 240-600 |
| Артикул: AZ 1500 | 500 | Твердый | 310-450 нм | 2D | 80-130 |
| TPP-sEo | 100 | Твердый | 517-800 / МАСЛО ВОЗДУШНОЕ | 2D | 18 |
| ТЭС-КАБ | 80 | Твердый | 517-800 / МАСЛО ВОЗДУШНОЕ | 2D | 6 |
| TPP-sZn | 50 | Твердый | 517-800 / МАСЛО ВОЗДУШНОЕ | 2D | 53 |
Линза Френеля
Блестящие линзы
[Оптоволоконная обработка торцевых поверхностей].
