Фотолитография
Что такое фотолитография
Фотолитография - это точный процесс нанесения рисунка деталей на тонкие пленки или подложки (также известные как "пластины"). Фотолитография использует свет для переноса геометрии с фотомаски (также известной как "фотомаска") на светочувствительный (т.е. светочувствительный) химический фоторезист на подложке.
Наши возможности
Контакт и близость Литография
Минимальный размер графики: 1 мкм, точность наложения: ±0,5 мкм
Лазерная прямая запись
(Прямое лазерное письмо)
Фемтосекундный лазер, двухфотонная полимеризация 3D-печать.Минимальный размер графики 0,3 мм, точность наложения: ±0,5 мм.
Фотолитография
Шаговая литография
(Шаговая литография)
Минимальный размер графики: 200 пм, точность регистрации ≤ 0,15 мкм (X,Y), диапазон экспозиции <22*22 мм, поддержка 8 дюймов
Фотолитография
Электронно-лучевая литография (EBL)
Минимальный размер детали: 10 нм, точность регистрации: 40 нм, диапазон экспозиции < 100 мм в диаметре
Фотолитография
Сканирующая литография
(Сканирующая литография)
Проекционное отношение 1:5, минимальный размер графики: 0,35 мкм, точность наложения ≤ 0,15 мкм (X,Y), диапазон экспозиции <22*22 мм
Фотолитография
Ионно-лучевая литография
(Ионно-лучевая литография)
Минимальный размер графики: 1 мкм, точность наложения: ±0,5 мкм
Литографические материалы
Литографические материалы
Распространенные материалы подложки
Кремниевые пластины, стекло, сапфир, гибкие материалы, GaAs и т.д.
Литографические материалы
Размер субстрата
2, 4, 6, 8 дюймов и неравномерные мелкие кусочки
Производственный процесс
1. первоначальное предложение
Отправьте ваши чертежи и требования нашему менеджеру по разработке для получения первоначального предложения
2. определение программы
На основе чертежей и требований мы оптимизируем и доработаем предложение и коммерческое предложение
3. производство и контроль качества
Мы подберем лучшее оборудование для вашего продукта и возьмем на себя полную ответственность за соответствие вашего продукта нашим стандартам
4. доставка по графику
Доставляется в срок
Проверка качества
Инструменты для тестирования
Оптическая микроскопия (Микроскопия)
Инструменты для тестирования
Профилометр
Инструменты для тестирования
Измерение сопротивления листа
Инструменты для тестирования
Измерение Холла Измерение Холла)
Дела, над которыми мы работали
Микро- и наноструктуры
Дифракционные оптические элементы (DOE)
Микро- и наноструктуры
Суперлинзы (METALENSES)
Микро- и наноструктуры
Дифракционные решетки (линейно-точечные, блестящие, наклонные)
Микро-нано архитектура
Массивы микролинз
Области применения
Микро- и наноприложения
Массивы микролинз
Микро- и наноприложения
Линейные решетчатые поляризаторы
Микро- и наноприложения
Датчики
Микро- и наноприложения
Гибкая электроника
Микро- и наноприложения
Антибликовая пленка
Микро- и наноприложения
OLED-панели
Микро- и наноприложения
Микрофлюидические каналы/чипы
Микро- и наноприложения
Оптический волновод AR
Наши сильные стороны
Полный охват процесса
Сотрудничество со многими отечественными экспериментами, с резервом различных технологий обработки от 100um-5nm
Высокие стандарты контроля качества
В духе сервиса 6sigma мы выбираем наиболее подходящую экспериментальную платформу, процесс, персонал и материалы для обработки
Быстрое реагирование
От идеи до ее реализации наши специалисты предоставят квалифицированную консультацию и обеспечат постоянныйОтслеживаниеУслуги
Экономьте время и беспокойство
Услуги "под ключ", от реализации принципа, разработки чертежей, закупки сырья до обработки готовой продукции
Свяжитесь с нами
Будьте готовы
Вы уже реализовали свои идеи?
Вы проектируете будущее, мы его строим.