Решения - Микро- и нанообработка

薄膜制备-外延篇 大多数材料以无定形、结晶或多晶状态存在。它们的机械、光学、热学和电学特性也会根据它们的状态而 […]

Химические методы позволяют создавать пленки с превосходной однородностью, покрытием и стехиометрическими соотношениями, но для этого требуются различные газы, и в некоторых случаях каждая пленка имеет свои уникальные характеристики.

Подготовка тонких пленок - PVD До сих пор наиболее распространенными физическими методами были испарение и напыление. Оба эти метода являются твердофазными, при которых исходный материал переносится на подложку один за другим in situ.