Классификация направлений исследований в области микронанофабрикации | MEMS

Исследования МЭМС сформировали более полную систему, охватывающую ряд областей исследований, в основном включающих базовую теорию, микро-нано процесс, микро-нано устройства, микро-нано испытания, микро-нано системы и микро-упаковки.

Современные исследования в области МЭМС можно разделить на 4 основных направления:

Быстрое развитие портативных электронных устройств на портативный источник питания плотность энергии выдвигает более высокие требования, и использование микрофабрикации технологии для производства микро-энергетических устройств, "может значительно уменьшить размер устройства энергоснабжения, для разработки высокой плотности энергии портативный источник питания обеспечивает мощный инструмент, является текущей энергетической области и области микро-нано кросс-исследований горячих точек, как ожидается, сделать большой прорыв в практических аспектах в последние годы.

Исследования в области микро-нано-биохимического зондирования и анализа включают в себя микро-полные системы анализа, такие как чипы для скрининга лекарств, белковые чипы, чипы для анализа одной клетки, устройства и связанные с ними технологии, такие как нано биосенсоры акустических волн, нано оптические биосенсоры, нано магнитные биосенсоры, нано электрохимические сенсоры и так далее.

Изучение микроактуаторов - важное направление в микро-наносистемах. Оно охватывает микроРЧ-устройства, микророботов, микровездеходы, микрофлюидные актуаторы и микрооптические устройства.

Датчики физических измерений имеют широкий спектр потребностей в области вооружения, нефтехимии, автомобилестроения и т.д., и для многих приложений требуются датчики с малыми размерами, высокой чувствительностью и способностью работать в жестких условиях высокой температуры, высокой влажности и сильных ударов. По сравнению с традиционной структурой датчиков, удовлетворить вышеуказанные потребности проще с помощью микросенсоров физических измерений, изготовленных по микро-нано технологии.