Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing (3) MEMS-ориентированная технология микрофабрикации формируется на основе интегральных схем, были созданы сверхточные механические [...]...
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (III) Читать дальше »
Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing (II) Технология микрофабрикации является основой для реализации микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также основной технологией и центром исследований в области МЭМС.
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (II) Читать дальше »
Микро-нано обработка | MEMS обработка Введение (I) Микросистема (Microsystem, обычный европейский термин), микроэлектромеханические системы (Micro E)
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (I) Читать дальше »
Микронанофабрикация | Introduction to Wet Cleaning Processes IC-процессы требуют участия ряда органических и неорганических реагентов для завершения, кроме того, производственный процесс всегда проходит при участии человека в
Микро-нано обработка | Введение в мокрую очистку Читать дальше »
Micro & Nano Processing | Introduction to Electroplating Гальваника - это использование электролиза для осаждения металлов или сплавов на поверхность подложки с образованием равномерного, плотного, хорошо сцепленного металлического слоя.
Микро-нано обработка | Введение в гальванику Читать дальше »
Микро-нано обработка | Введение в процесс сухого травления Технология травления подразделяется на: мокрое травление и сухое травление Мокрое травление подразделяется на: химическое травление и электролитическое травление Сухое травление подразделяется на
Микро- и нанообработка | Введение в сухое травление Читать дальше »
Micro-Nano Processing | Введение в процессы осаждения тонких пленок Содержание Что такое осаждение тонких пленок (нанесение покрытий)? Тонкопленочное осаждение (нанесение покрытий) - это процесс формирования и осаждения тонкопленочного покрытия на материал подложки.
Микро- и нанообработка | Введение в осаждение тонких пленок Читать дальше »
Микронанофабрикация | Осаждение тонких пленок, литография и травление Обзор Нанофабрикация делится на три отдельные области: тонкие пленки, литография и травление. Тонкие пленки получают с помощью физических газов, таких как осаждение из паровой фазы.
Микро- и нанообработка | Обзор процессов Читать дальше »
Микронанофабрикация | Литография - Наноимпринтная литография Наноимпринтная литография
Микро- и нанообработка | Фотолитография - Наноимпринтная литография Читать дальше »
Микро-нано обработка | Литография - Fib Focused Ion Beam Lithography Это техника сканирующей литографии без маски и сопротивления. Она очень похожа на EBL
Микро- и нанообработка | литография - фокус на ионно-лучевых ФИБах Читать дальше »
