Микропроцессирование | Микрофлюидные чипы Микрофлюидные чипы стали мощным инструментом для изучения биологических систем с разрешением в одну клетку. В то же время микрофлюидные чипы могут не только широко [...]...
Микро- и нанообработка | Микрофлюидные чипы Читать дальше »
Технические возможности платформы литейного производства микро- и наноструктур/МЭМС Лабораторная платформа имеет в общей сложности более 200 единиц оборудования, в том числе основное оборудование (более 40 единиц), включая: - графику
MEMS Foundry Capabilities | Photolithography Plating Etching Coating Читать дальше »
UV-LIGA Electroforming | Производство металлических трафаретов В настоящее время основными технологическими процессами для получения тонких металлических трафаретов являются: фотолитография-травление, лазерная обработка и фотолитография.
LIGA/UV-LIGA Покрытие | Металлические микроструктуры ВЧ-устройства Инерционные датчики Рассеивание тепла Микроструктурные приложения Микросистемы, Инк.
Микронанофабрикация | Для массива клеток Микромассивы клеток (или клеточный паттернинг) "также известны как ограничение изучаемых клеток определенным пространственным расположением".
Микро- и нанообработка | для клеточных массивов Читать дальше »
Микро-нано обработка | Подготовка микро-нано оптических элементов Микро-нано оптические элементы представляют собой оптические поверхности и микро-переходы свободной формы с субмикронной точностью поверхности и нанометровой шероховатостью.
Микро- и нанообработка | Изготовление микро- и нанооптических компонентов Читать дальше »
Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (VII) 1.10 Технология склеивания Склеивание пластин похоже на пайку, так как не используется клей, а слои материала расплавляются вместе для образования соединения.
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (VII) Читать дальше »
Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС 1.6 Технология жертвенных слоев Технология жертвенных слоев также известна как технология разделительных слоев. Технология жертвенного слоя предполагает использование химического газа на кремниевой подложке.
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (VI) Читать дальше »
Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (V) 1.5 Технология травления высокоэнергетическим лучом (1) травление электронным лучом с использованием химического эффекта травления электронным лучом
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (V) Читать дальше »
Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing(4) 1.3 Фотолитография Фотолитография, также известная как фотолитография, возникла при производстве интегральных схем для микроэлектроники. Фотолитография
Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (IV) Читать дальше »
