Решения

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (V)

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (V) 1.5 Технология травления высокоэнергетическим пучком (1) Травление электронным пучком Использование химического воздействия электронного пучка для травления [...]...

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (V) Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (IV)

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing(4) 1.3 Фотолитография Фотолитография, также известная как фотолитография, возникла при производстве интегральных схем для микроэлектроники. Фотолитография

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (IV) Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (III)

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (3) Технология микрофабрикации, ориентированная на МЭМС, формируется на основе интегральных схем, уже существует сверхточное оборудование

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (III) Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (II)

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing (II) Технология микрофабрикации является основой для реализации микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также основной технологией и центром исследований в области МЭМС.

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (II) Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (I)

Микро-нано обработка | MEMS обработка Введение (I) Микросистема (Microsystem, обычный европейский термин), микроэлектромеханические системы (Micro E)

Микро- и нанообработка | Тонкая обработка МЭМС (I) Читать дальше »

Микро-нано обработка | Введение в мокрую очистку

Микронанофабрикация | Introduction to Wet Cleaning Processes IC-процессы требуют участия ряда органических и неорганических реагентов для завершения, кроме того, производственный процесс всегда проходит при участии человека в

Микро-нано обработка | Введение в мокрую очистку Читать дальше »

Микро-нано обработка | Введение в гальванику

Micro & Nano Processing | Introduction to Electroplating Гальваника - это использование электролиза для осаждения металлов или сплавов на поверхность подложки с образованием равномерного, плотного, хорошо сцепленного металлического слоя.

Микро-нано обработка | Введение в гальванику Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Введение в сухое травление

Микро-нано обработка | Введение в процесс сухого травления Технология травления подразделяется на: мокрое травление и сухое травление Мокрое травление подразделяется на: химическое травление и электролитическое травление Сухое травление подразделяется на

Микро- и нанообработка | Введение в сухое травление Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Введение в осаждение тонких пленок

Micro-Nano Processing | Введение в процессы осаждения тонких пленок Содержание Что такое осаждение тонких пленок (нанесение покрытий)? Тонкопленочное осаждение (нанесение покрытий) - это процесс формирования и осаждения тонкопленочного покрытия на материал подложки.

Микро- и нанообработка | Введение в осаждение тонких пленок Читать дальше »

Микро- и нанообработка | Обзор процессов

Микронанофабрикация | Осаждение тонких пленок, литография и травление Обзор Нанофабрикация делится на три отдельные области: тонкие пленки, литография и травление. Тонкие пленки получают с помощью физических газов, таких как осаждение из паровой фазы.

Микро- и нанообработка | Обзор процессов Читать дальше »