Решения

微纳加工 | MEMS精细加工(五) 1.5　高能束刻蚀技术 （1 ）电子束刻蚀 利用电子束的化学效应进行刻蚀 […]

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing(4) 1.3 Фотолитография Фотолитография, также известная как фотолитография, возникла при производстве интегральных схем для микроэлектроники. Фотолитография

Микро-нано обработка | Тонкая обработка МЭМС (3) Технология микрофабрикации, ориентированная на МЭМС, формируется на основе интегральных схем, уже существует сверхточное оборудование

Микро-нано обработка | MEMS Fine Processing (II) Технология микрофабрикации является основой для реализации микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также основной технологией и центром исследований в области МЭМС.

Микро-нано обработка | MEMS обработка Введение (I) Микросистема (Microsystem, обычный европейский термин), микроэлектромеханические системы (Micro E)

Микронанофабрикация | Introduction to Wet Cleaning Processes IC-процессы требуют участия ряда органических и неорганических реагентов для завершения, кроме того, производственный процесс всегда проходит при участии человека в

Micro & Nano Processing | Introduction to Electroplating Гальваника - это использование электролиза для осаждения металлов или сплавов на поверхность подложки с образованием равномерного, плотного, хорошо сцепленного металлического слоя.

Микро-нано обработка | Введение в процесс сухого травления Технология травления подразделяется на: мокрое травление и сухое травление Мокрое травление подразделяется на: химическое травление и электролитическое травление Сухое травление подразделяется на

Micro-Nano Processing | Введение в процессы осаждения тонких пленок Содержание Что такое осаждение тонких пленок (нанесение покрытий)? Тонкопленочное осаждение (нанесение покрытий) - это процесс формирования и осаждения тонкопленочного покрытия на материал подложки.

Микронанофабрикация | Осаждение тонких пленок, литография и травление Обзор Нанофабрикация делится на три отдельные области: тонкие пленки, литография и травление. Тонкие пленки получают с помощью физических газов, таких как осаждение из паровой фазы.