纳米压印技术(NIL)
纳米压印技术(NIL) 是制作大面积纳米级图案最具高性价比的工艺, AccSci英生科技拥有超10年的微纳加工和纳米压印技术经验沉淀,以致能帮您在加工过程中省时,省事,省心,减少大量成本浪费以及优化整个生产的效率和效益。
什么是纳米压印(Nil)?
纳米压印光刻 (NIL) 是一种制作纳米级图案的微纳加工工艺,是加工聚合物结构最常用的方法。拥有成本低、工期短、产量高、分辨率高等优点。
成熟且常用的纳米压印技术工艺主要有:纳米热压印(T-NIL) 技术、紫外光固化压印( UV-NIL) 技术、微接触印刷( μCP)。
我们的能力
加工工艺
光刻(Lithography)
电子束光刻(EBL)、紫外光刻、接近/接触式光刻、步进式光刻等
加工工艺
双光子3D打印(Two-photonpolymerization)
加工工艺
刻蚀(Etching)
聚焦离子束刻蚀、深度反应离子刻蚀、电感耦合等离子刻蚀、离子束溅射刻蚀等
纳米热压印、紫外光固化压印、微接触印刷(软刻蚀)
加工工艺
镀膜(Coating)
磁控溅射、原子层沉积、离子束溅射、等离子体化学气相沉积等
加工工艺
电铸(LIGA)
纳米压印材料
光刻材料
压印模板材料
硅母版 (Silicon NIL Stamps),石英母版 (Fused Silica NIL Stamps),镍母版 (Nickel SHIM),聚合物母版 (Polymer NIL Stamps),PDMS 掩膜 (PDMS NIL Stamps)
纳米压印材料
基底材料
蓝宝石、石英、硅(Si)、镍(Ni)、聚二甲基硅氧(PDMS)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、氮化镓(GaN)、钛(Ti)、金(Au)、聚乙烯(PE)等基底材料
纳米压印的案例
制作流程
1.初步报价
将你的图纸及需求发送给我们开发经理获取初步报价
2.方案确定
我们将根据图纸及需求,进行优化并确定方案及报价
3.生产及质量把控
将为您产品选择最佳的设备并全权负责您的产品符合我们的标准制作
4.按期交货
按照时间将产品交付到您手上
检测表征
检测手段
光学显微镜(Microscopy)
检测手段
轮廓仪(Profilometer)
检测手段
薄膜方阻测量(Sheet Resistance Measurement)
检测手段
霍尔测试(Hall measurement )
我们的优势
优势
全套工艺覆盖
与国内多家实验合作,拥有100um-5nm不同加工技术储备
优势
高标准质量管控
我们秉承6sigma服务精神,选择最合适实验平台、工艺、人员、材料进行加工
优势
快速响应
从想法到落地,我们专家将提供专业意见,并持续跟踪服务
优势
省时省心
交钥匙服务,从原理实现,图纸设计,原材料采购,到成品加工
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准备好
实现您的想法了吗?
你负责设计未来,我们负责建造未来。