光伏微纳结构加工

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服务 - 报价

微纳加工

合理的微纳结构设计能给光电器件带来光学和电学性能的提升,我们上线微纳加工打样验证服务,可帮助客户在光捕获、光提取、光调制、载流子动力学、机械柔韧性和其他新颖功能性 (结构的各向异性、偏振特性、以及增强化学或相稳定性等)等方向上实现性能-结构验证。

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服务 - 评估咨询

图纸优化及工艺确定

为了最好地实现,我们会先根据你的图纸进行评估,提供图纸修改建议,推荐合适的工艺与设备进行加工。此外,我司承诺将在交付完成后,销毁本地计算机中您的图纸文档记录,对客户隐私做到绝对保护。

检测表征1x1
服务 - 交付保障

结构检测表征报告

为了保证交付质量,我们将提供成品质量报告(通常为光学检测报告)。但与此同时,我们额外提供成品的表面几何参数的测量和机械特性测量。涵盖构件的三维尺寸、轮廓、膜厚、表面粗糙度、拉伸、传动特性、耐久性等测试。

微纳结构

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微纳结构

光子捕获

使入射光与微纳结构的相互作用延长光路,将更多的入射光子留在光敏层产生驻波,并提高材料的光吸收减少材料的消耗
金字塔阵列

微纳结构

光提取

微纳结构的调控可以提高部分限制在波导和衬底等模式内的发射光子的提取效率
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微纳结构

光调制

微纳结构的调控可以提高部分限制在波导和衬底等模式内的发射光子的提取效率
微纳结构-刻蚀

微纳架构

载流子动力学改进

微纳结构可以增加界面面的接触比表面积,且缩短光生载流子的扩散长度,利于载流子传输和收集

我们的能力

电子束光刻(EBL)、紫外光刻、接近/接触式光刻、步进式光刻等

加工工艺

双光子聚合3D打印(TPP)

聚焦离子束刻蚀、深度反应离子刻蚀、电感耦合等离子刻蚀、离子束溅射刻蚀等

纳米热压印、紫外光固化压印、微接触印刷(软刻蚀)

磁控溅射、原子层沉积、离子束溅射等离子体化学气相沉积等

加工工艺

电铸(LIGA)

检测表征

检测手段

光学显微镜(Microscopy)

检测手段

轮廓仪(Profilometer)

检测手段

薄膜方阻测量(Sheet Resistance Measurement)

检测手段

霍尔测试(Hall measurement )

应用领域

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微纳应用

微透镜阵列

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微纳应用

线栅偏光片

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微纳应用

掩膜版

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微纳应用

柔性电子器件

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微纳应用

抗反射薄膜

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微纳应用

OLED面板

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微纳应用

传感器

AR/VR

微纳应用

AR光波导