RF MEMS微纳加工制造
服务 - 报价
微纳加工
如今，随着移动终端的发展，利用MEMS技术制作的射频器件更具易集成和灵活性，适合现代射频微波领域对低损耗、小体积、低成本器件的要求。为此，我们上线微纳加工打样验证服务，以求帮助客户最快实现产品验证。
服务 - 评估咨询
图纸优化及工艺确定
为了最好地实现，我们会先根据你的图纸进行评估，提供图纸修改建议，推荐合适的工艺与设备进行加工。此外，我司承诺将在交付完成后，销毁本地计算机中您的图纸文档记录，对客户隐私做到绝对保护。
服务 - 交付保障
结构检测表征报告
为了保证交付质量，我们将提供成品质量报告（通常为光学检测报告）。但与此同时，我们额外提供成品的表面几何参数的测量和机械特性测量。涵盖构件的三维尺寸、轮廓、膜厚、表面粗糙度、拉伸、传动特性、耐久性等测试。
微纳结构
结构单元
电感
结构单元
移相器
结构单元
匹配网络
结构单元
可变电容
结构单元
谐振器
结构单元
天线
结构单元
开关
结构单元
滤波器
我们的能力
加工工艺
光刻（Lithography）
电子束光刻（EBL）、紫外光刻、接近/接触式光刻、步进式光刻等
加工工艺
双光子聚合3D打印（TPP）
加工工艺
刻蚀（Etching）
聚焦离子束刻蚀、深度反应离子刻蚀、电感耦合等离子刻蚀、离子束溅射刻蚀等
加工工艺
纳米压印（NIL）
纳米热压印、紫外光固化压印、微接触印刷（软刻蚀）
加工工艺
镀膜（Coating）
磁控溅射、原子层沉积、离子束溅射、等离子体化学气相沉积等
加工工艺
电铸（LIGA）
检测表征
检测手段
光学显微镜（Microscopy）
检测手段
轮廓仪（Profilometer）
检测手段
薄膜方阻测量（Sheet Resistance Measurement）
检测手段
霍尔测试（Hall measurement ）
应用领域
微纳应用
卫星通信
微纳应用
物联网
微纳应用
导航终端
微纳应用