微纳加工制造

微纳加工
服务 - 报价

微纳加工

如今,微/纳制造与微/纳测量技术现已广泛的应用于信息业、工业制造、生物与医疗科学、航空航天及环境科学等各个领域,对于军用和民用各个领域的发展起着举足轻重的作用。为此,我们上线微纳加工打样验证服务,以求帮助客户最快实现产品验证。

微流控芯片
服务 - 评估咨询

图纸优化及工艺确定

为了最好地实现,我们会先根据你的图纸进行评估,提供图纸修改建议,推荐合适的工艺与设备进行加工。此外,我司承诺将在交付完成后,销毁本地计算机中您的图纸文档记录,对客户隐私做到绝对保护。

检测表征1x1
服务 - 交付保障

结构检测表征报告

为了保证交付质量,我们将提供成品质量报告(通常为光学检测报告)。但与此同时,我们额外提供成品的表面几何参数的测量和机械特性测量。涵盖构件的三维尺寸、轮廓、膜厚、表面粗糙度、拉伸、传动特性、耐久性等测试。

我们的能力

电子束光刻(EBL)、紫外光刻、接近/接触式光刻、步进式光刻等

聚焦离子束刻蚀、深度反应离子刻蚀、电感耦合等离子刻蚀、离子束溅射刻蚀等

纳米热压印、紫外光固化压印、微接触印刷(软刻蚀)

磁控溅射、原子层沉积、离子束溅射等离子体化学气相沉积等

加工工艺

电铸(LIGA)

微纳结构

检测表征

检测手段

光学显微镜(Microscopy)

检测手段

轮廓仪(Profilometer)

检测手段

薄膜方阻测量(Sheet Resistance Measurement)

检测手段

霍尔测试(Hall measurement )

应用领域

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微纳应用

微透镜阵列

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微纳应用

线栅偏光片

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微纳应用

传感器

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微纳应用

柔性电子器件

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微纳应用

抗反射薄膜

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微纳应用

OLED面板

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微纳应用

微流体通道/芯片

AR/VR

微纳应用

AR光波导