솔루션

微纳加工 | MEMS精细加工(五) 1.5　高能束刻蚀技术 （1 ）电子束刻蚀 利用电子束的化学效应进行刻蚀 […]

마이크로 나노 공정 | MEMS 미세 공정(4) 1.3 포토리소그래피 포토리소그래피는 포토리소그래피라고도 하며 마이크로 일렉트로닉스용 집적 회로 제조에서 시작되었습니다. 포토리소그래피

마이크로-나노 공정 | MEMS 미세공정 (3) 집적회로를 기반으로 한 MEMS 중심의 미세가공 기술이 형성되면서 초정밀 기계가 등장했습니다.

마이크로-나노 공정 | MEMS 미세 공정(II) 미세 가공 기술은 마이크로 전자기계 시스템(MEMS)을 구현하기 위한 기반이며, MEMS의 핵심 기술이자 연구 분야이기도 합니다.

마이크로-나노 공정 | MEMS 공정 소개(I) 마이크로 시스템(마이크로 시스템, 일반적인 유럽 용어), 마이크로 전자 기계 시스템(마이크로 E)

미세 나노 제조 | 습식 세정 공정 소개 IC 공정을 완료하려면 여러 유기 시약과 무기 시약이 필요하며, 생산 공정에는 항상 사람의 개입이 필요합니다.

마이크로 및 나노 공정 | 전기 도금 소개 전기 도금은 전기 분해를 사용하여 기판 표면에 금속 또는 합금을 증착하여 균일하고 밀도가 높으며 잘 결합된 금속 층을 형성하는 것입니다.

마이크로 나노 공정 | 건식 에칭 공정 소개 에칭 기술은 습식 에칭과 건식 에칭으로 구분됩니다 습식 에칭은 화학식 에칭과 전해식 에칭으로 구분됩니다 건식 에칭은 다음과 같이 구분됩니다.

마이크로-나노 공정 > 박막 증착 공정 소개 박막 증착(코팅)이란 무엇인가요? 박막 증착(코팅)은 기판 재료에 박막 코팅을 형성하고 증착하는 공정입니다.

나노 제조 | 박막 증착, 리소그래피 및 에칭 개요 나노 제조는 박막, 리소그래피 및 에칭의 세 가지 영역으로 나뉩니다. 기상 증착과 같은 물리적 가스를 사용하는 박막