솔루션 - 마이크로 및 나노 공정

薄膜制备-外延篇 大多数材料以无定形、结晶或多晶状态存在。它们的机械、光学、热学和电学特性也会根据它们的状态而 […]

화학적 방법은 균일성, 커버리지 및 화학량 론적 비율이 우수한 필름을 만들 수 있지만 다른 가스가 필요하며 경우에 따라 각 필름마다 고유한 특성이 있습니다.

박막 준비 - PVD 지금까지 가장 일반적인 물리적 방법은 증착과 스퍼터링이었습니다. 두 방법 모두 소스 물질을 현장에서 하나씩 기판으로 옮기는 고체상 방식입니다.