마이크로 나노 제조 | MEMS 연구 방향 분류

MEMS 연구는 주로 기초 이론, 마이크로 나노 공정, 마이크로 나노 소자, 마이크로 나노 테스트, 마이크로 나노 시스템 및 마이크로 패키지를 포함한 여러 연구 분야를 포괄하는 보다 완벽한 시스템을 형성했습니다.

현재 MEMS 연구는 크게 4가지 방향으로 나눌 수 있습니다:

휴대용 전원 공급 장치 에너지 밀도에 대한 휴대용 전자 장치의 급속한 발전은 더 높은 요구 사항을 제시하고 마이크로 에너지 장치를 제조하기 위해 미세 가공 기술을 사용하여 '에너지 공급 장치의 크기를 크게 줄일 수 있으며, 고 에너지 밀도 휴대용 전원 공급 장치의 개발을 위해 강력한 도구를 제공하며, 현재 에너지 분야와 마이크로 나노 교차 연구 핫스팟 분야는 최근 몇 년 동안 실용적인 측면에서 큰 돌파구를 마련 할 것으로 예상됩니다.

마이크로 나노 생화학 센싱 및 분석 연구에는 약물 스크리닝 칩, 단백질 칩, 단일 세포 분석 칩과 같은 마이크로 풀 분석 시스템, 나노 음파 바이오 센서, 나노 광학 바이오 센서, 나노 자기 바이오 센서, 나노 전기 화학 센서 등의 디바이스 및 관련 기술이 포함됩니다.

마이크로 액추에이터에 대한 연구는 마이크로 나노 시스템에서 중요한 방향입니다. 마이크로 RF 장치, 마이크로 로봇, 마이크로 차량, 마이크로 유체 액추에이터 및 마이크로 광학 장치를 다룹니다.

물리 측정 센서는 무기, 석유화학, 자동차 등 다양한 분야에서 폭넓게 사용되고 있으며, 많은 응용 분야에서 작은 크기, 고감도, 열악한 고온, 고습, 고충격 환경에서도 작동할 수 있는 센서가 필요하며, 기존 센서 구조에 비해 마이크로 나노 기술로 만든 물리 측정 마이크로 센서를 사용하면 위의 요구 사항을 쉽게 충족할 수 있습니다.