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微纳加工 | 光刻 – Fib聚焦离子束光刻 这是一种无掩模、无电阻的扫描光刻技术。它与EBL非常 […]

마이크로 나노 공정 | 리소그래피 - 전자빔 리소그래피 모든 비광학 리소그래피 방법 중 가장 일반적으로 사용되는 방법입니다. 대신 전자 빔을 사용합니다.

마이크로 제조 | 포토리소그래피 - 광학 리소그래피 장 나노 및 마이크로 제조 기술의 맥락에서 포토리소그래피는 기판의 표면에 패턴을 적용하여 다음 단계로 전사하는 데 사용됩니다.

미세 제조 | 에칭 포토리소그래피로 레지스트 필름에 패턴이 형성되면 화학 공정을 사용하여 패턴을 아래 기판이나 필름에 전사합니다. 이를 패턴 전사라고 합니다.

박막 준비 - 에피택시 대부분의 재료는 비정질, 결정질 또는 다결정 상태로 존재합니다. 기계적, 광학적, 열적, 전기적 특성도 상태에 따라 달라집니다.

화학적 방법은 균일성, 커버리지 및 화학량 론적 비율이 우수한 필름을 만들 수 있지만 다른 가스가 필요하며 경우에 따라 각 필름마다 고유한 특성이 있습니다.

박막 준비 - PVD 지금까지 가장 일반적인 물리적 방법은 증착과 스퍼터링이었습니다. 두 방법 모두 소스 물질을 현장에서 하나씩 기판으로 옮기는 고체상 방식입니다.