마이크로 나노 공정 | 전기 도금 소개
전기 도금은 전해 원리를 사용하여 기판 표면에 금속 또는 합금을 증착하여 균일하고 밀도가 높으며 잘 결합된 금속 층을 형성하는 프로세스입니다. CVD 및 PVD와 같은 박막 증착 기술에 비해 전기 도금은 금속의 전해 증착을 활용하여 특정 복잡하거나 특수한 모양의 장치를 정확하게 복제할 수 있으며 금속의 두께를 무한대로 늘릴 수 있습니다.
1. 일반적인 도금 금속의 용도, 장점 및 단점
| 금속 | 일반적인 용도 | 장점 | 충분하지 않음 |
|---|---|---|---|
| 구리(화학) | 인쇄 회로 기판, 탄화 방지, 전기 전도성 증가, 압출 시 마찰 감소, 부품 치수 수리, 구리 범프 준비, TSV, 프라이밍, 전기 전도성 향상 | 우수한 전기 전도성, 낮은 응력, 도금 층의 접착력 및 내식성 향상. | 구리는 산화되기 쉬우므로 후처리는 우수한 산화 방지 기능이 필요합니다. |
| 니켈(화학) | 전극 재료, 장식 및 보호 도금,<br><br>상향식,<br><br>MEMS 구조. | 좋은 가소성, 압력을 확장하기 쉽고, 매우 좋은 가공 및 기계적 특성, 좋은 안정성, 산화, 내식성, 니켈 도금 변형이 작고, 낮은 거칠기, 내마모성을 가지고 있습니다. | 자성일 수 있음<br><br>니켈은 부동 태화하기 쉽고 한 번에 도금을 완료해야하며 중간 정전은 도금 박리가 나타나기 쉽습니다. |
| 광택이 있고 연성이 있는 금속의 총칭 | 전자 산업, 항공우주, 항공, 마이크로 전자 및 장식 기술, 전도성, 스레딩 분야의 응용 분야 | 화학적 안정성이 뛰어납니다. 소프트 골드는 부드러운 질감, 매우 우수한 연성 및 강한 결합력을 가지고 있으며, 하드 골드는 내마모성이 우수하고 미적 감각이 뛰어납니다. 전도성 접촉 임피던스를 개선하고 신호 전송을 향상시키는 데 사용됩니다. | 금값이 비싸다. |
| 화폐 또는 통화 관련 | 전극 재료, 전도성 | 화학적으로 안정적이고 심미적이며 전도성 접촉 임피던스를 개선하고 신호 전송을 향상시킵니다. | 빛에 민감하고 쉽게 산화됨 |
| inconel | 부드러운 자성 소재 | 강한 자성, 내식성은 니켈 도금과 비슷하고 경도는 니켈 도금보다 높으며 인성은 밝은 니켈 층보다 우수합니다. | |
| 크롬-니켈 | 저항기, 열전대, 기어, 장식용 도금 | 높은 경도, 내열성, 내마모성, 내식성, 고 저항성, 내 산화성, 우수한 안정성 | 도금 두께를 두껍게 하기 어려움 |
| 수여 | 납땜 가능한 도금 재료 준비에 적용 | 우수한 납땜성 | |
| 플래티넘(화학) | 장식, 반도체 패키지, 전극 | 부드러운 질감, 우수한 연성, 우수한 화학적 안정성 | 최대 92°C의 도금 온도 |
| 팔라듐(화학) | 장식, 반도체 패키징 | 화학적으로 안정적이고, 내식성이 우수하며, 코팅 경도가 높고, 접촉 저항이 매우 낮고 변하지 않습니다. | 도금 용액에 고농도의 주염이 필요합니다. |
도금 품질에 영향을 미치는 요인 2.
전기 도금 필름의 품질에는 주로 전류 밀도, 전기장 분포, 선폭, 도금 용액 구성, 사이클링 모드 및 기타 측면을 포함하여 많은 요소가 영향을 미칩니다.
팁 효과: 공작물 또는 극판의 가장자리와 끝부분에 더 많은 전선이 모이는 경향이 있으며, 이러한 현상을 팁 효과 또는 가장자리 효과라고 합니다. 전기 도금에서 팁 효과로 인해 도금된 층의 가장자리가 두꺼워지거나 버가 생기거나 번들거릴 수 있습니다.
전류 밀도: 전기 도금 생산에서 공작물 표면의 단위 면적을 통과하는 전류를 종종 전류 밀도라고 하며, 일반적으로 암페어/dm2(A/dm2 또는 ASD)를 측정 단위로 사용합니다. 일반적으로 낮은 전류 밀도의 결정화는 섬세하고 부드러우며 증착 속도가 느리고 생산성이 낮으며, 높은 전류 밀도의 결정화는 거칠고(심한 경우 타거나 가루가 됨) 단단하며 증착 속도가 빠르며 생산성이 높습니다.
불순물: 모든 도금 용액에는 일반적으로 사용된 화학 물질, 불순한 양극, 첨가제, 도금 공정 중 기판 및 포토폴리머의 용해 등으로 인한 불순물이 포함되어 있습니다. 유기 및 금속 불순물은 접착력에 영향을 미치고 포켓마크와 핀홀을 생성하며 분산 및 커버리지를 감소시키고 전류 효율에 영향을 미치며 도금 스트레스를 증가시킬 수 있습니다.
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