マイクロマシニング技術レベルとマイクロエレクトロニクス技術レベルの向上に伴い、MEMSシステムは大きく発展してきました。一般的なエネルギー供給デバイスのサイズ、低エネルギー密度、短寿命などの欠点に制限されて、マイクロエネルギーデバイスこのエネルギー供給デバイスは徐々に注目を集め、MEMSシステムの重要な一部となりました。マイクロエネルギー分野の現在の研究ホットスポットは、マイクロ亜鉛ニッケル電池、マイクロリチウム電池、マイクロ燃料電池、マイクロ太陽電池、マイクロ同位体電池、マイクロ内燃機関、振動駆動マイクロエネルギー、摩擦発電機などです。

バイポーラとブリガムヤング大学は、基板にシリコン基板、正極にNiOOHとNi、負極にZn、電解液にKOHを用いて、様々な小型の亜鉛・ニッケル電池構造を開発しました。

全固体リチウムイオン電池は、従来のリチウムイオン電池と同じ原理で、正極材と負極材の間でリチウムイオンが可逆的に変化することで充放電を実現する。全固体リチウムイオン電池は、高エネルギー密度、良好な集積度、長いサイクルタイムという利点を持ち、小型エネルギー貯蔵素子として非常に有利なものです。

燃料電池は、水と二酸化炭素を同時に発生させる燃焼反応によって、化学エネルギーを直接電気エネルギーに変換する電気化学デバイスである。燃料電池はエネルギー密度が高く、環境を汚染せず、燃料圧縮密度が高くても長時間の電力供給が可能です。どのタイプの燃料電池も基本原理は同じで、電解液（液体）、カソード、アノード、アセンブリという4つの基本要素で構成されています。

太陽電池は、主に半導体材料の光起電力効果を利用して動作します。クリーンで無公害な再生可能エネルギーで、出力電圧が高く、十分な光があれば電気機械システムにも適しています。

放射性同位元素は崩壊する際に粒子を放出し、その粒子は運動エネルギーを持っています。アイソトープ電池は、粒子の運動エネルギーを電気エネルギーに変換することができ、その変換形態により熱型と非熱型に分けられる。アイソトープ電池は、エネルギー密度が高い、小型、干渉に対する耐性が高い、寿命が長い、使用過程で追加材料が不要などの特徴があり、宇宙探査に広く応用されている。

内燃機関は、コンパクトで高出力という利点を持つ、現代社会で最も重要なパワーユニットの一つです。内燃機関は、発電機と組み合わせて発電システムを構成することができます。

振動エネルギーは、さまざまな自然環境に存在し、クリーンなエネルギー源でもあります。

マイクロ振動発電機は、その構造により、静電変換、電磁変換、圧電変換に大別される。

ジョージア工科大学は、摩擦発電の原理に基づき、高分子材料からなる2枚の薄膜を周期的に接触・離間させ、効率的で安定した電気機械システムとしてナノ摩擦発電機（TENG）を設計・実証しました。