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回折光学素子(DOE)
マイクロ・ナノ光学部品の加工で10年の経験を持つ当社は、複雑で高精度な回折光学素子（DOE）のカスタマイズに豊富な経験を有しています。これにより、光を効果的に形作ることができるため、製品全体の性能と柔軟性を向上させ、光の損失を抑えた幅広いアプリケーションを実現することができます。
回折光学素子とは
回折光学素子(DOE)は位相素子です。光波回折の理論では、基板上にエッチングされた連続したレリーフ型やステップ型の構造を利用することで、極めて高い回折効率を得ることができます。小型・軽量でデザインの自由度が高く、画像処理も可能です。光学イメージング、光学データストレージ、レーザー技術、生物医学などの分野で、良質で幅広い応用が期待できます。
機能には3種類あります：ビームシェーパー, ,ビームスプリッターとディフューザー(ホモゲナイザー）
DOEの応用分野
応用分野
レーザー材料加工
溶接、切断、スクライビング、ソフトウェルディング、ドリル加工におけるレーザービームの整形とビームスプリッティング
応用分野
フォトリソグラフィーとホログラフィック照明
マスクプロジェクションシステムにおける投影ビームの均質化、構造化瞳孔照明、垂直および高傾斜面の均一フィールド照明
応用分野
バイオメディカル機器
医療用レーザー治療器・診断器用回折光学素子
応用分野
光センサー
距離・位置センサー、モーションディテクト
応用分野
ライダー
レーザービームを用いた光距離・速度測定
応用分野
コミュニケーション
ビームスプリッター、波長選択、シリコンオプティクスアプリケーション
私たちの能力
プロセス
リトグラフ
電子ビーム描画装置（EBL: Electron Beam Lithography）UVリソグラフィープロキシミティ/コンタクトリソグラフィ、ステッパーリソグラフィなど。
プロセス
二光子3Dプリンター（二光子重合法）
プロセス
エッチング(エッチング)
集束イオンビームエッチング深部反応性イオンエッチング、誘導結合プラズマエッチング、イオンビームスパッタリングエッチングなど。
プロセス
ナノインプリント(ナノインプリントリソグラフィー)
ナノサーマルエンボス、UV硬化型エンボス、マイクロコンタクトプリンティング（ソフトエッチング）
プロセス
コーティング
マグネトロンスパッタリングatomic layer depositionの略。イオンビームスパッタリング, ,プラズマ化学気相成長法 など
プロセス
エレクトロフォーミング（LIGA）
生産工程
1.初回特典
図面やご要望を開発担当者にお送りいただき、初期見積りを行います。
2.プログラムの識別
図面や要望をもとに、提案書や見積書を最適化し、最終決定します
3.生産・品質管理
お客様の製品に最適な機器を選定し、当社の基準を満たすよう全責任を負います
4.予定通りの納品
納期を守ってお届けします
これまでに担当したケース
マイクロ・ナノ構造
回折光学素子(DOE)
マイクロ・ナノ構造
スーパーレンズ（METALENSES）
マイクロ・ナノ構造
回折格子（ラインポイント、シャイン、チルト）
マイクロナノアーキテクチャ
マイクロレンズアレイ
テストキャラクタリゼーション
テストツール
光学顕微鏡（マイクロスコープ）
テストツール
プロフィロメーター
テストツール
シート抵抗の測定
テストツール
ホール測定 ホール測定)
当社の強み
メリット
フルプロセスカバレッジ
100um～5nmのさまざまな加工技術を蓄積し、国内の多くの実験と連携。
メリット
高水準の品質管理
6sigmaサービスの精神に基づき、最適な実験プラットフォーム、プロセス、人材、材料を選択し、加工を行う
メリット
迅速な対応
アイデアから実装まで、専門家が専門的なアドバイスを提供し、継続的にトラッキングサービス内容
メリット
時間や心配を減らす
原理の実現、図面設計、原料調達から製品加工までのターンキーサービス。
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