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塗布工程-塗布
マイクロ/ナノ加工における10年の経験を持つ当社の高度なマイクロ/ナノ加工ソリューションは、マイクロ/ナノ製造プロセス全体を通して時間、労力、エネルギーを確実に節約し、大幅なコストの浪費を抑え、生産全体の効率と効果を最適化することができます。
コーティングとは何ですか？
薄膜蒸着(メッキ)は、基材上に薄膜の被膜を形成し、堆積させるプロセスである。基板上に様々な材料の薄膜を形成することは、マイクロ・ナノプロセスの最も重要な手段の一つである。フィルムは、基材の性能の特定の要素を変更または改善するために使用することができる多くの異なる特性を持っています。例えば、透明性、耐久性、耐傷性、電気伝導性や信号伝達を増減させる、などです。薄膜の蒸着厚さは、ナノメートルからミクロン単位まであります。
薄膜の成膜によく使われるプロセスとしては物理的気相成長法(PVD)と化学気相成長法(CVD).
私たちの能力
プロセス
熱蒸発成膜
(熱蒸発式)
抵抗加熱蒸発法、電子ビーム熱蒸発法
プロセス
プラズマ化学気相成長法(PECVD)
RFパワー：0～600W、プロセス温度：350℃、ユニフォーミティ≦±5%
プロセス
低圧化学気相成長法(LPCVD)
プロセス
イオンビームスパッタリング
(IBS)
コーティング材料
コーティング材料
金属材料
チタン（Ti）、アルミニウム（Al）、ニッケル（Ni）、金（Au）、銀（Ag）、クロム（Cr）、プラチナ（Pt）、銅（Cu）、チタンタングステン（TiW90）、パラジウム（Pd）、亜鉛（Zn）、モリブデン（Mo）、タングステン（W）、タンタル（Ta）、ニオブ（Nb）
コーティング材料
非金属材料
シリコン（Si）、二酸化シリコン（SiO2）、窒化シリコン（SiNx） 酸化アルミニウム（Al2O3）、二酸化ハフニウム（HFO2）、フッ化マグネシウム（MgF2）、酸化インジウムスズ（ITO）、五酸化タンタル（Ta2O5）
生産工程
1.初回特典
図面やご要望を開発担当者にお送りいただき、初期見積りを行います。
2.プログラムの識別
図面や要望をもとに、提案書や見積書を最適化し、最終決定します
3.生産・品質管理
お客様の製品に最適な機器を選定し、当社の基準を満たすよう全責任を負います
4.予定通りの納品
納期を守ってお届けします
品質テスト
テストツール
光学顕微鏡（マイクロスコープ）
テストツール
プロフィロメーター
テストツール
シート抵抗の測定
テストツール
ホール測定 ホール測定)
これまでに担当したケース
マイクロ・ナノ構造
回折光学素子(DOE)
マイクロ・ナノ構造
スーパーレンズ（METALENSES）
マイクロ・ナノ構造
回折格子（ラインポイント、シャイン、チルト）
マイクロナノアーキテクチャ
マイクロレンズアレイ
応用分野
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロレンズアレイ
マイクロ・ナノアプリケーション
リニアグリッド偏光板
マイクロ・ナノアプリケーション
センサー
マイクロ・ナノアプリケーション
フレキシブルエレクトロニクス
マイクロ・ナノアプリケーション
反射防止フィルム
マイクロ・ナノアプリケーション
有機ELパネル
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロ流体チャンネル/チップ
マイクロ・ナノアプリケーション
AR光導波路
当社の強み
メリット
フルプロセスカバレッジ
100um～5nmのさまざまな加工技術を蓄積し、国内の多くの実験と連携。
メリット
高水準の品質管理
6sigmaサービスの精神に基づき、最適な実験プラットフォーム、プロセス、人材、材料を選択し、加工を行う
メリット
迅速な対応
アイデアから実装まで、専門家が専門的なアドバイスを提供し、継続的にトラッキングサービス内容
メリット
時間や心配を減らす
原理の実現、図面設計、原料調達から製品加工までのターンキーサービス。
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