マイクロ・ナノ加工|ナノインプリント(NIL)技術の紹介と応用例
マイクロナノファブリケーション|ナノインプリントリソグラフィー(NIL)技術紹介と応用例 目次 ナノインプリントリソグラフィーとは? ナノインプリントリソグラフィ(NIL)は、マイクロナノ構造パターンを有するテンプレートを使用して、対応する基板上にパターンを転写することによりナノスケールパターンを作成するマイクロナノファブリケーションプロセスであり、転写媒体は通常、重合[...]の薄層である。
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