マイクロ・ナノ加工｜MEMS研究の方向性分類

MEMS研究は、主に基礎理論、マイクロ・ナノプロセス、マイクロ・ナノデバイス、マイクロ・ナノテスト、マイクロ・ナノシステム、マイクロパッケージングなど、多くの研究分野を網羅する比較的完全なシステムを形成しています。

現在のMEMS研究は、大きく4つの方向性に分けられます。

ポータブル電子機器の急速な発展は、ポータブル電源のエネルギー密度に対する高い要求を打ち出しており、微細加工技術を使用してマイクロエネルギーデバイスを製造することで、「エネルギー供給装置のサイズを大幅に縮小することができ、高エネルギー密度のポータブル電源の開発のための強力なツールを提供し、現在のエネルギー分野とマイクロナノ分野のクロス研究のホットスポットであり、近年は実用面での大きな飛躍が期待されます。

マイクロ・ナノ生化学センシングと分析の研究には、薬物スクリーニングチップ、タンパク質チップ、単細胞分析チップなどのマイクロフル分析システム、ナノ音響バイオセンサー、ナノ光学バイオセンサー、ナノ磁気バイオセンサー、ナノ電気化学センサーなどのデバイスと関連技術が含まれます。

マイクロアクチュエータの研究は、マイクロシステムやナノシステムにとって重要な方向性である。マイクロ無線周波数デバイス、マイクロロボット、マイクロエアビークル、マイクロ流体アクチュエータデバイス、マイクロ光学デバイスをカバーしています。

物理計測センサーは、兵器、石油化学、自動車などの分野で広く求められており、多くのアプリケーションでは、高温・高湿・高衝撃の厳しい環境下で動作する小型・高感度のセンサーが求められています。 従来のセンサー構造に比べて、マイクロ・ナノテクノロジーを用いて製造された物理計測マイクロセンサーは、これらの要求に容易に応えることができます。