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エッチングプロセス - Etching
10年にわたるマイクロ/ナノの経験を持つ当社の高度なマイクロ/ナノ処理ソリューションは、マイクロ/ナノの製造プロセス全体を通して時間、労力、エネルギーを確実に節約し、大幅なコストの無駄を削減し、生産全体の効率と効果を最適化することができます。
エッチングとは？
エッチングとは、ウェーハの表面から不要な物質を化学的または物理的に除去する工程である。 半導体製造では、フォトリソグラフィー、エッチング、薄膜蒸着の3つの主要工程を連続的に循環させ、複雑で微細な回路構造を形成する。
私たちの能力
エッチング加工
リアクティブイオンエッチング
(RIE - Reactive Ion Etching）。
マイクロ・ナノ加工、Si、SiO₂、SiNxなどのエッチングに最も広く使われ、最も有能な技術です。
エッチング加工
ディープリアクティブイオンエッチング
(DRIE-Deep Reactive Ion Etching）。
エッチング均一性 UN<3%、ディープSiエッチングレート 2-10um/min、Sio2 & SiNxエッチングレート 20-150nm/min
エッチング加工
集束イオンビームエッチング
(FIBE-集束イオンビームエッチング)
エッチング、蒸着、ドーピングなど、材料やデバイスのマイクロ・ナノ加工。
エッチング加工
イオンビームスパッタエッチング
(IBE-イオンビームエッチング)
金属など、エッチングが困難なものに対して
エッチング加工
誘導性/容量結合プラズマエッチング
(ICP/CCP-誘導性/容量結合プラズマ）。
GaN、GaAs、InPなどのエッチング。
エッチング加工
ウエットエッチング（湿式エッチング）
2incから8incまでの無機質洗浄に加え、従来の酸・アルカリ腐食にも対応可能
エッチング材料
エッチング材料
一般的なエッチング材料
シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、金属、石英、サファイア、その他の素材
エッチング材料
ウェットエッチングソリューション
酢酸（H3COOH）。
塩酸(HCl)
フッ化水素酸(HF)
硝酸(HNO3)
リン酸(H3PO4)
水酸化カリウム(KOH)
水酸化ナトリウム(NaOH)
硫酸(H2SO4)
アクアレジア（3HCl：1HNO3)
生産工程
1.初回特典
図面やご要望を開発担当者にお送りいただき、初期見積りを行います。
2.プログラムの識別
図面や要望をもとに、提案書や見積書を最適化し、最終決定します
3.生産・品質管理
お客様の製品に最適な機器を選定し、当社の基準を満たすよう全責任を負います
4.予定通りの納品
納期を守ってお届けします
品質テスト
テストツール
光学顕微鏡（マイクロスコープ）
テストツール
プロフィロメーター
テストツール
シート抵抗の測定
テストツール
ホール測定 ホール測定)
これまでに担当したケース
マイクロ・ナノ構造
回折光学素子(DOE)
マイクロ・ナノ構造
スーパーレンズ（METALENSES）
マイクロ・ナノ構造
回折格子（ラインポイント、シャイン、チルト）
マイクロナノアーキテクチャ
マイクロレンズアレイ
応用分野
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロレンズアレイ
マイクロ・ナノアプリケーション
リニアグリッド偏光板
マイクロ・ナノアプリケーション
センサー
マイクロ・ナノアプリケーション
フレキシブルエレクトロニクス
マイクロ・ナノアプリケーション
反射防止フィルム
マイクロ・ナノアプリケーション
有機ELパネル
マイクロ・ナノアプリケーション
マイクロ流体チャンネル/チップ
マイクロ・ナノアプリケーション
AR光導波路
当社の強み
メリット
フルプロセスカバレッジ
100um～5nmのさまざまな加工技術を蓄積し、国内の多くの実験と連携。
メリット
高水準の品質管理
6sigmaサービスの精神に基づき、最適な実験プラットフォーム、プロセス、人材、材料を選択し、加工を行う
メリット
迅速な対応
アイデアから実装まで、専門家が専門的なアドバイスを提供し、継続的にトラッキングサービス内容
メリット
時間や心配を減らす
原理の実現、図面設計、原料調達から製品加工までのターンキーサービス。
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