Micro y nanoprocesamiento | MEMS Clasificación de las direcciones de investigación

La investigación sobre MEMS ha formado un sistema relativamente completo que abarca una serie de áreas de investigación, entre las que destacan la teoría básica, los micro y nanoprocesos, los micro y nanodispositivos, las micro y nanopruebas, los micro y nanosistemas y el microenvasado.

La investigación actual sobre MEMS puede dividirse en 4 direcciones principales:

El rápido desarrollo de dispositivos electrónicos portátiles ha presentado mayores requisitos para la densidad de energía de las fuentes de alimentación portátiles, y el uso de la tecnología de microfabricación para la fabricación de dispositivos de micro-energía, 'puede reducir significativamente el tamaño del dispositivo de suministro de energía, proporcionando una poderosa herramienta para el desarrollo de fuentes de alimentación portátiles de alta densidad de energía, es el campo de la energía actual y micro-nano campo de los puntos calientes de investigación cruzada, en los últimos años se espera hacer un gran avance en los aspectos prácticos.

La investigación en detección y análisis micro y nanobioquímicos incluye sistemas analíticos microcompletos como chips de detección de fármacos, chips de proteínas y chips de análisis de células individuales, dispositivos y tecnologías afines como biosensores nanoacústicos, biosensores nanoópticos, biosensores nano magnéticos y nanosensores electroquímicos.

El estudio de los microactuadores es una dirección importante para los microsistemas y los nanosistemas. Abarca microdispositivos de radiofrecuencia, microrobots, microvehículos aéreos, dispositivos microactuadores fluídicos y dispositivos microópticos.

Los sensores de medición física son muy demandados en los campos del armamento, la petroquímica y la automoción, y muchas aplicaciones requieren sensores pequeños con alta sensibilidad que puedan funcionar en entornos adversos de alta temperatura, alta humedad y alto impacto. En comparación con las estructuras de sensores tradicionales, los microsensores de medición física fabricados con micro y nanotecnología pueden satisfacer más fácilmente estas demandas.