1.10 Tecnología de unión

La unión de obleas es similar a la soldadura, ya que las capas de material se funden para formar una unión fuerte sin utilizar aglutinante. La unión silicio-vidrio se consigue aplicando unos cientos de voltios de corriente continua entre el silicio y el vidrio a 350°C a 500°C durante unos minutos. La unión silicio-silicio es la unión directa de dos superficies de silicio pulido a altas temperaturas mediante fuerzas atómicas para formar una sola unidad. Esta técnica facilita la creación de estructuras micromecánicas complejas.

1.11 Técnicas de procesamiento de la microscopía de sonda de barrido (SPM)

Aplicando la tecnología de procesamiento del microscopio de sonda de barrido al procesamiento de superficies a nivel atómico y molecular en la punta de la sonda, es posible alcanzar los límites de la microfabricación y procesar en el rango nanométrico. El elevado campo eléctrico en la punta de la sonda cerca de la superficie del material de prueba se utiliza para romper los enlaces entre átomos y evaporarlos, lo que permite la eliminación, adición y movimiento de átomos individuales.

1.12 Microestereolitografía

Es un nuevo tipo de tecnología de microfabricación, que pertenece a la tecnología de modelado óptico y puede integrar la tecnología láser, la tecnología CAD/CAM, la ciencia de los materiales y la tecnología de microfabricación para procesar directamente estructuras tridimensionales en miniatura, y puede combinarse con la tecnología de microelectroconformado para ampliar el ámbito de aplicación a metales o no metales. La unidad de procesamiento consta de una fuente láser, un sistema de control óptico, un sistema de control de movimiento de tres vías para la mesa, una mesa de micromovimiento y un dispositivo de carga de resina de poliéster. La fuente láser con alta resolución de procesamiento es la clave de este método. Actualmente, este método se ha utilizado para procesar muelles con un diámetro de 50μm y una precisión de 1-10μm. Este método también puede combinarse con la tecnología de grabado láser para producir piezas más complejas.

1.13 Tecnología de fabricación de mecanismos integrados

Recientemente, se ha producido una nueva tendencia en la micromecánica, a saber, el uso de circuitos integrados a gran escala, la tecnología de microfabricación, será una variedad de delicados micromecanismos, tales como: micro-actuadores, micro-sensores, micro-controladores, etc integrados en un chip de silicio. Puede convertir el mecanismo pasivo tradicional en un mecanismo activo, y puede convertirse en una integración electromecánica completa de MEMS, se espera que el tamaño de todo el sistema se reduzca a unos pocos milímetros a unos pocos cientos de micras.