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Fotolitografía
Con 10 años de experiencia en micro/nano, nuestras avanzadas soluciones de procesamiento micro/nano le garantizan un ahorro de tiempo, esfuerzo y energía a lo largo de todo el proceso de fabricación micro/nano, reduciendo el importante desperdicio de costes y optimizando la eficiencia y eficacia de toda su producción.
Qué es la fotolitografía
La fotolitografía es un proceso de precisión para crear patrones de piezas sobre películas finas o sustratos (también conocidos como "obleas"). La fotolitografía utiliza la luz para transferir la geometría de una fotomáscara (también conocida como "fotomáscara") a un fotoresistente químico sensible a la luz (es decir, fotosensible) sobre un sustrato.
Nuestras capacidades
Fotolitografía
Litografía de contacto y proximidad
Tamaño gráfico mínimo: 1μm, precisión de superposición: ±0,5μm.
Fotolitografía
Escritura directa por láser
(Escritura directa con láser)
Láser de femtosegundo, polimerización de dos fotones Impresión 3D.Tamaño gráfico mínimo 0,3um, precisión de superposición: ±0,5um;
Fotolitografía
Litografía por pasos
(Litografía por pasos)
Tamaño mínimo del gráfico: 200 nm, precisión de registro ≤ 0,15μm (X,Y), rango de exposición <22*22mm, soporte 8inch
Fotolitografía
Litografía por haz de electrones (EBL)
Tamaño mínimo del patrón: 10 nm, precisión de registro: 40 nm, rango de exposición < 100 mm de diámetro
Fotolitografía
Litografía de barrido
(Litografía de barrido)
Relación de proyección 1:5, tamaño gráfico mínimo: 0,35μm, precisión de superposición ≤ 0,15μm (X,Y), rango de exposición <22*22mm.
Fotolitografía
Litografía por haz de iones
(Litografía por haz de iones)
Tamaño gráfico mínimo: 1μm, precisión de superposición: ±0,5μm.
Materiales litográficos
Materiales litográficos
Materiales de sustrato habituales
Obleas de silicio, vidrio, zafiro, materiales flexibles, GaAs, etc.
Materiales litográficos
Tamaño del sustrato
2, 4, 6, 8 pulgadas y piezas pequeñas irregulares
Proceso de producción
1. Oferta inicial
Envíe sus planos y requisitos a nuestro responsable de desarrollo para obtener un presupuesto inicial
2. Identificación del programa
Basándonos en los planos y los requisitos, optimizaremos y finalizaremos la propuesta y el presupuesto
3. Producción y control de calidad
Seleccionaremos el mejor equipo para su producto y asumiremos toda la responsabilidad de que su producto cumpla nuestras normas
4. Entrega en el plazo previsto
Entrega puntual
Pruebas de calidad
Herramientas de prueba
Microscopía óptica (Microscopía)
Herramientas de prueba
Perfilómetro
Herramientas de prueba
Medición de la resistencia de la chapa
Herramientas de prueba
Medición Hall Medición Hall)
Casos en los que hemos trabajado
Microestructuras y nanoestructuras
Elementos ópticos difractivos (DOE)
Microestructuras y nanoestructuras
Superlentes (METALENTES)
Microestructuras y nanoestructuras
Rejillas de difracción (punto de línea, brillo, inclinación)
Arquitectura micro-nano
Conjuntos de microlentes
Ámbitos de aplicación
Micro y nanoaplicaciones
Conjuntos de microlentes
Micro y nanoaplicaciones
Polarizadores lineales de rejilla
Micro y nanoaplicaciones
Sensores
Micro y nanoaplicaciones
Electrónica flexible
Micro y nanoaplicaciones
Película antirreflectante
Micro y nanoaplicaciones
Paneles OLED
Micro y nanoaplicaciones
Canales/chips microfluídicos
Micro y nanoaplicaciones
Guía de ondas óptica AR
Nuestros puntos fuertes
Ventajas
Cobertura total del proceso
Cooperación con muchos experimentos nacionales, con una reserva de diferentes tecnologías de procesamiento de 100um-5nm.
Ventajas
Altos niveles de control de calidad
Con el espíritu del servicio 6sigma, seleccionamos la plataforma experimental, el proceso, el personal y los materiales más adecuados para el procesamiento
Ventajas
Respuesta rápida
Desde la idea hasta la puesta en práctica, nuestros expertos proporcionarán asesoramiento especializado y continuado.SeguimientoServicios
Ventajas
Ahorre tiempo y preocupaciones
Servicio llave en mano, desde la realización del principio, el diseño de planos, la adquisición de materias primas hasta la transformación del producto acabado
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