Aplicación_Nanofabricación

Nanofabricación | Litografía - Litografía por haz de electrones De todos los métodos de litografía no óptica, éste es el más utilizado. Utiliza un haz de electrones en lugar de [...]

Micronanofabricación | Fotolitografía - Litografía óptica Capítulo En el contexto de las tecnologías de nano y microfabricación, la fotolitografía se utiliza para aplicar un patrón a la superficie de un sustrato para su posterior transferencia al siguiente

Micronanofabricación | Grabado Una vez que la película resistente ha sido modelada mediante fotolitografía, se utiliza un proceso químico para transferir el patrón al sustrato o película inferior. Esto se denomina transferencia del patrón

Preparación de películas finas - Epitaxia La mayoría de los materiales existen en estado amorfo, cristalino o policristalino. Sus propiedades mecánicas, ópticas, térmicas y eléctricas también varían en función de su estado.

Los métodos químicos pueden crear películas con excelente uniformidad, cobertura y proporciones estequiométricas, pero requieren diferentes gases y, en algunos casos, cada película tiene sus propias características únicas.

Preparación de películas finas - PVD Hasta ahora, los métodos físicos más comunes eran la evaporación y el sputtering. Ambos son métodos en fase sólida en los que el material fuente se transfiere al sustrato uno a uno in situ.