Micro y nanoprocesamiento | Introducción a los procesos de grabado en seco
Las técnicas de grabado se dividen en: grabado húmedo y grabado seco
El grabado húmedo se divide en: grabado químico y grabado electrolítico
El mordentado en seco se divide en: mordentado por plasma, mordentado por pulverización de haces de iones, mordentado por iones reactivos
El grabado en seco es una técnica para grabar películas finas con la naturaleza químicamente más activa del plasma.
En función del mecanismo de grabado mediante iones, existen tres tipos de grabado en seco:Aguafuerte físico, aguafuerte químico, aguafuerte físico-químico.El mordentado físico, también conocido como mordentado por pulverización catódica, es altamente direccional y puede ser anisotrópico, pero no puede ser selectivo. El mordentado químico utiliza grupos atómicos químicamente activos en el plasma para reaccionar químicamente con el material que se está grabando, logrando así el propósito del mordentado. Como el núcleo del mordentado sigue siendo una reacción química, el efecto del mordentado es algo similar al del mordentado húmedo, con mejor selectividad pero menos anisotropía.
Comparación de los mecanismos de mordentado en seco por plasma y de los parámetros de mordentado
| Parámetros de grabado | Grabado físico - Corte vertical del campo de RF | Grabado químico - Hoja paralela de campo RF | Grabado físico y químico - Hoja vertical de campo RF |
|---|---|---|---|
| Mecanismo de grabado | Pulverización física de iones | Química de los elementos reactivos | Pulverización iónica y química de elementos reactivos |
| Perfil de la pared lateral | Anisótropo | Isótropo | Anisótropo |
| Elija entre más de | Elevación baja/difícil (1:1) | Muy alto (500:1) | Alta (de 5:1 a 100:1) |
| Velocidad de grabado | Alta | lento | Moderado |
| Control del ancho de línea | Bien | Muy pobre | Muy buena |
Según el método de generación del plasma, se clasifican el plasma de acoplamiento inductivo ICP, el plasma de acoplamiento capacitivo CCP y el plasma de resonancia de ciclotrón electrónico de microondas ECR. resonancia ciclotrónica).
Lectura ampliada.
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