解决方案 – 微纳加工

薄膜制备-外延篇 大多数材料以无定形、结晶或多晶状态存在。它们的机械、光学、热学和电学特性也会根据它们的状态而 […]

薄膜制备-沉积 化学方法可以⽣产出具有出色均匀性、覆盖率和化学计量比的薄膜，但它们需要不同的气体，有时每种薄膜

薄膜制备-PVD篇 到⽬前为⽌，最常⽤的物理⽅法是蒸发和溅射。两者都是⽓相⽅法，源材料逐个原⼦地转移到基板上。