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微纳加工 | 用于细胞阵列化 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | 用于细胞阵列化 细胞微阵列化（或称为细胞图案化）‚也就是将所研究的细胞约束在限定的空间位置上‚它 微纳加工 | 用于细胞阵列化 阅读更多 "
微纳加工 | 制备微纳光学元器件 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | 制备微纳光学元件 微纳光学元件是指面形精度可达亚微米级,表面粗糙度可达纳米级的自由光学曲面及微结 微纳加工 | 制备微纳光学元器件 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(七) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工(七) 1.10 键合技术 晶片键合类似于焊接,不用粘结剂,材料层被熔化在一起形 微纳加工 | MEMS精细加工(七) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(六) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工 1.6 牺牲层技术 牺牲层技术也叫分离层技术。牺牲层技术是在硅基板上,用化学气 微纳加工 | MEMS精细加工(六) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(五) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工(五) 1.5 高能束刻蚀技术 （1 ）电子束刻蚀 利用电子束的化学效应进行刻蚀 微纳加工 | MEMS精细加工(五) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(四) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工(四) 1.3 光刻技术 光刻也称照相平版印刷术,源于微电子的集成电路制造。光刻 微纳加工 | MEMS精细加工(四) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(三) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工(三) 面向MEMS的微细加工技术是在集成电路的基础上形成的,先后有了超精密机械 微纳加工 | MEMS精细加工(三) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(二) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS精细加工(二) 微细加工技术是实现微机电系统的基础,也是微机电系统的核心技术和研究热点。 微纳加工 | MEMS精细加工(二) 阅读更多 "
微纳加工 | MEMS精细加工(一) 解决方案 - 微纳加工 / admin 微纳加工 | MEMS加工简介（一） 微系统（Microsystem,欧洲惯用词）、微机电系统（Micro E 微纳加工 | MEMS精细加工(一) 阅读更多 "
