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什么是镀膜？
薄膜沉积（镀膜）是在基底材料上形成和沉积薄膜涂层的过程，在基片上沉积各种材料的薄膜是微纳加工的重要手段之一，薄膜具有许多不同的特性，可用来改变或改善基材性能的某些要素。例如，透明，耐用且耐刮擦；增加或减少电导率或信号传输等。薄膜沉积厚度范围从纳米级到微米级。
常用的薄膜沉积工艺是物理气相沉积（PVD）与化学气相沉积（CVD）。
我们的能力
加工工艺
热蒸发沉积
（thermal evaporative）
电阻加热蒸发、电子束热蒸发
加工工艺
原子层沉积
（ALD)
加工工艺
等离子体化学气相沉积（PECVD）
射频功率：0-600W，工艺温度：350°C；均匀性≤±5%
加工工艺
低压化学气相沉积（LPCVD）
加工工艺
离子束溅射
（IBS)
镀膜材料
镀膜材料
金属材料
钛（Ti）、铝（Al）、镍（Ni）、金（Au）、银（Ag）、铬（Cr）、铂（Pt）、铜（Cu）、钛钨（TiW90）、钯（Pd）、锌（Zn）、钼（Mo）、钨（W）、钽（Ta） 、铌（Nb）
镀膜材料
非金属材料
硅（Si）、 二氧化硅（SiO2）、氮化硅(SiNx) 氧化铝（Al2O3）、二氧化铪（HFO2）、氟化镁（MgF2）、氧化铟锡（ITO）、五氧化二钽（Ta2O5）
制作流程
1.初步报价
将你的图纸及需求发送给我们开发经理获取初步报价
2.方案确定
我们将根据图纸及需求，进行优化并确定方案及报价
3.生产及质量把控
将为您产品选择最佳的设备并全权负责您的产品符合我们的标准制作
4.按期交货
按照时间将产品交付到您手上
质量检测
检测手段
光学显微镜（Microscopy）
检测手段
轮廓仪（Profilometer）
检测手段
薄膜方阻测量（Sheet Resistance Measurement）
检测手段
霍尔测试（Hall measurement ）
我们做过的案例
应用领域
微纳应用
微透镜阵列
微纳应用
线栅偏光片
微纳应用
传感器
微纳应用
柔性电子器件
微纳应用
抗反射薄膜
微纳应用
OLED面板
微纳应用
微流体通道/芯片
微纳应用
AR光波导
我们的优势
优势
全套工艺覆盖
与国内多家实验合作，拥有100um-5nm不同加工技术储备
优势
高标准质量管控
我们秉承6sigma服务精神，选择最合适实验平台、工艺、人员、材料进行加工
优势
快速响应
从想法到落地，我们专家将提供专业意见，并持续跟踪服务
优势
省时省心
交钥匙服务，从原理实现，图纸设计，原材料采购，到成品加工
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准备好
实现您的想法了吗？
你负责设计未来，我们负责建造未来。